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真空检漏的具体方法检漏步骤为:1.用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹氦气，第-遍针头移动的速度可以快些，对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏，在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。2.不按压气袋，用针头缓慢地对位置进行检查，漏孔会吸入针头中存有的少氦气，观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化，找到漏率大且上升快的点即是漏点。
航天技术的不断发展， 泄漏问题已经成为航天产品设计制造中必须考虑的关键因素，越来越多的收到各方关注，相关电子元器件漏率检测已经引起科研人员的高度重视，目前应用检漏技术的主要是为密封继电器、集成电路外壳。.利用氢质谱检漏仪可以方便地对密封继电器作漏率测定。针对不同的产品，采用合适的检漏方法。目前密封继电器的漏率检测主要是GJB360A-96的112实验程序。
检漏仪调成真空模式，对检漏仪和机组进行连接，开启检漏仪，当真空度达到检漏仪开检压力后，对机组可能的泄漏点吹喷氦气，当氦气泄漏量达到检漏仪设定的报警值时，检漏仪报警。吹喷氦气时应当注意以下几点:从机组的下方到上方，靠近检漏仪处到远离检漏仪处逐步喷吹。检出大漏后要经过修补再检小漏。当存在两个邻近的漏孔时，盖住其中- -个漏孔再检测另一个。当喷吹某点时，检漏仪显示值有变化但较为缓慢，表明邻近的其他地方有较大泄漏。检漏场地应有良好通风，但不影响喷出氦气的气体流向。总结:氦质谱检漏仪在化锂吸收式制冷行业广泛应用以后，使制冷机的寿命有着明显提高，保证了化锂制冷机15年以上的使用寿命
对检漏方法的要求：能定位、定量，即不经能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。